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大面积辊对板纳米压印设备

所属分类:设备

产品规格:压印线宽:20nm

发布时间:2025-06-12

访问数量:438

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产品概述:

1.压印幅面:1020mm*1520mm

2.压印精度:最小线宽≤30nm

3.压印速度:≥1m/min

4.辊轮压力:自重+额定压力设定

5.全自动完成压印、曝光、脱模,脱模角度可设定

6. UV光源:365nm LED光源,最大额定功率500mw/cm^2面光源尺寸规格:1100mm*75mm,通过光源恒定速度移动,完成曝光

7.腔体配有FFU、去静电装置,可保证良好的腔体环境

8.图形化软件界面,生产过程实时反馈数据

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