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类别:
纳米压印胶
名称:
NIL系列纳米压印耗材产品
   
 
   产 品 说 明
 

NIL-UV-Si                 含硅紫外固化印光刻胶

 

v  低粘度紫外印光刻用光刻胶

v  适用于石英,,硅,NIL-Quick StampPDMS以及其它聚合物等印模版材料

v  适用于硅,石英,SapphireGaAsInPGaNTiAuPE等多种基底材料

v  固化无真空,可在空气中实现快速紫外固化(2.2 J/cm2

v  低压印剩余层厚度(根据工艺可低至10纳米以下)

v  高结构深宽比

v  有机无机混合材料,高刻蚀选择比

v  旋涂后层厚均匀,厚度可根据配比和旋涂条件控制在25纳米到1.5微米之间

v  结构精度可小于10纳米

 

 

NIL-UV-Fast             快速紫外固化印光刻胶

 

v  低粘度紫外印光刻用光刻胶

v  紫外固化快速,无真空,在空气中紫外曝光5秒内固化(使用掩模光刻机曝光,350W紫外光源)

v  适用于石英,硅,NIL-Quick StampPDMS以及其它聚合物等印模版材料

v  适用于硅,石英,SapphireGaAsInPGaNTiAuPE等多种基底材料

v  低压印剩余层厚度(根据工艺可低至10纳米以下)

v  高结构深宽比

v  有机环氧树脂材料,高刻蚀选择比

v  旋涂后层厚均匀,厚度可根据配比和旋涂条件控制在30纳米到1.4微米之间

v  结构精度可小于10纳米

 

 

 

NIL-UVHE                 紫外曝光助低温热固化纳米压印光刻

 

v  紫外曝光与热固化结合,实现快速固化,降低加热冷却过程对压印影响

v  低温快速印(印以及固化程小于2钟,压印温度4070 °C

v  2050Bar

v  旋涂后层厚均匀,厚度可根据配比和旋涂条件控制在50500纳米之间

v  适用于石英,,硅,NIL-Quick Stamp印模版材料

v  适用于硅,石英,SapphireGaAsInPGaN等多种基底材料

v  低压印剩余层厚度(根据工艺可低至20纳米以下),可适用氧气RIE刻蚀去除剩余层

v  高结构深宽比

v  有机环氧树脂材料,固化后具有极佳的刻蚀选择比,化学稳定性以及机械强度

v  结构精度可小于10纳米

 

NIL-ASL            易用型印模版抗粘

v  不同于传统抗粘层复杂处理工艺,简单易用

v  常温操作,可在空气中操作,无真空,高温,手套箱等复杂设备

v  只需旋涂在模版表面,工艺过程小于两分

v  有适用于硅和石英,Quick Stamp模版材料三种不同版本

v  修饰后模版不粘压印胶,脱模容易

v  每次修饰可保证热压印100次以上(取决于工艺和压印胶选择)

v  配合NIL系列紫外压印胶可使用500次以上

 

NIL-Lift-Off              印后Lift-Off

 

v  适用于配合压印胶使用Lift-Off工艺

v  NIL系列印胶配合适用,无须额外增粘

v  构可使用氧气RIE移到,与NIL-UV-Si印胶配合,刻蚀选择比高,可实现构深

v  Lift-Off简单可靠,使用丙即可

 

NIL-xhPDMS            高精度PDMS模版复制材料

v  普通PDMS材料硬度低,无法复制高精度高密度纳米结构NIL高精度PDMS材料硬度是普通PDMS材料2030倍,可复制精度20纳米以下,周期50纳米以下结构

v  粘度低,适合在母模版表面旋涂,复制厚度均匀PDMS模版

v  母模版表面可使用NIL-ASL进行抗粘修饰,修饰后PDMS剥离无残余

v  复制的NIL-xhPDMS材料模版表面无须额外抗粘层处理,可以直接压印,脱模不粘胶

v  配合NIL系列紫外印胶使用,NIL-xhPDMS模版可以连续压500次以上

v  可以与普通PDMS粘合复制多合成模版

v  使用简单方便,低温固化,大面尺寸偏差远远小于普通PDMS材料

v  使用专NIL-PDMS-AP,可增强与托片粘合性

 

NIL-Quick Stamp   紫外固化高硬度模版复制材料

v  高精度纳米压印模版复制材料,可复制结构精度100纳米以下结构

v  快速紫外固化,几分钟内就可复制高精度纳米压印模版

v  母模版表面可使用NIL-ASL进行抗粘修饰,修饰后Quick Stamp剥离无残余

v  复制的NIL-Quick Stamp材料模版表面可以使用专用的NIL-ASL进行抗粘处理,压印后脱模不粘胶

v  固化后化学稳定性好,机械强度高,适合高温热压印和常温紫外压印

v  配合NIL系列印胶使用,可多次连续压印,未发现寿命限制

v  使用专NIL-Quick Stamp-AP,可增强与托片粘合性

点击数:9025  录入时间:2013-10-25 【打印此页】 【关闭
 
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