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滚轮式紫外纳米压印设备

所属分类:设备

产品规格:GD-N-03

发布时间:2022-08-17

访问数量:2027

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产品概述:

设备名称:滚轮式紫外纳米压印设备

型号:GD-N-03


设备性能:

兼容4,6,8英寸晶圆

全自动晶圆传送,可进行小批量生产

最低线宽小于20nm

压印深宽比至10:1

可进行斜齿光栅压印

兼容高刻蚀比压印胶压印


产品3b.jpg

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