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滚轮式紫外纳米压印设备

所属分类：设备

产品规格：GD-N-03

发布时间：2022-08-17

访问数量：3007

咨询详情

产品概述：

设备名称：滚轮式紫外纳米压印设备

型号：GD-N-03


设备性能：

兼容4,6,8英寸晶圆

全自动晶圆传送，可进行小批量生产

最低线宽小于20nm

压印深宽比至10:1

可进行斜齿光栅压印

兼容高刻蚀比压印胶压印


产品3b.jpg

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