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设备

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量产型纳米压印设备

所属分类：设备

产品规格：GD-2C-N-R300

发布时间：2022-08-17

访问数量：12385

咨询详情

产品概述：

型号：GD-2C-N-R300


设备性能：

12英寸晶圆及以下兼容

晶圆预清洗，匀胶，及冷热板功能

全自动晶圆传送

全自动柔性模板制作及自动压印工艺流程

最低线宽小于20nm

压印深宽比至10:1

兼容高刻蚀比压印胶压印

常熟工厂地址：常熟市虞山高新区建业路2号常熟先进制造业科技园7C栋1楼，2楼

苏州工业园区地址：苏州工业园区纳米城13栋302

电话：0512 51915206

邮箱：47179145@qq.com, service@gdnano.com

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