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量产型纳米压印设备

所属分类:设备

产品规格:GD-2C-N-R300

发布时间:2022-08-17

访问数量:12407

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产品概述:

型号:GD-2C-N-R300


设备性能:

12英寸晶圆及以下兼容

晶圆预清洗,匀胶,及冷热板功能

全自动晶圆传送

全自动柔性模板制作及自动压印工艺流程

最低线宽小于20nm

压印深宽比至10:1

兼容高刻蚀比压印胶压印

常熟工厂地址:常熟市虞山高新区建业路2号常熟先进制造业科技园7C栋1楼,2楼

苏州工业园区地址:苏州工业园区纳米城13栋302

电话:0512 51915206

邮箱:47179145@qq.com, service@gdnano.com

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