1、8/12兼容

兼容8inch、12inch基板，可便捷更换。

2、模块化设计

1.整机采用模块化设计，集成EFEM、spin coater、HP、CP、NIL、Frame loading Unit、Pre-aligner、RF-reader等功能模块。

2.可根据对量产能力的需求，增加子模块，具有良好的拓展性。

3、高精度

1.压印最小线宽30nm

2.深宽比达10：1

3.与母版尺寸偏差＜3%

4.对位精度±2um

4、高量产能力

1.UPH 30

2.具备优良的稳定性

5、全自动

1.配合光舵自研的智能操控软件，所有动作均可全自动完成。

2.并提供实时监控画面，对重点过程做监控。

6、高洁净等级

1.设备腔内环境可达到class 1

2.与母版的数据偏差＜3%

3.片间尺寸偏差＜3%

设备对位压印能力：≤2um

配合高精度平台，设备可提供稳定的对位能力，并完成偏心补偿