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全自动纳米压印设备

所属分类:设备

产品规格:

发布时间:2023-06-29

访问数量:1235

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产品概述:

1、8/12兼容

兼容8inch、12inch基板,可便捷更换。


2、模块化设计

1.整机采用模块化设计,集成EFEM、spin coater、HP、CP、NIL、Frame loading Unit、Pre-aligner、RF-reader等功能模块。

2.可根据对量产能力的需求,增加子模块,具有良好的拓展性。


3、高精度

1.压印最小线宽30nm

2.深宽比达10:1

3.与母版尺寸偏差<3%

4.对位精度±2um


4、高量产能力

1.UPH 30

2.具备优良的稳定性


5、全自动

1.配合光舵自研的智能操控软件,所有动作均可全自动完成。

2.并提供实时监控画面,对重点过程做监控。


6、高洁净等级

1.设备腔内环境可达到class 1

2.与母版的数据偏差<3%

3.片间尺寸偏差<3%


8.jpg


设备对位压印能力:≤2um

配合高精度平台,设备可提供稳定的对位能力,并完成偏心补偿


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